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中圖儀器SuperViewW1光學(xué)3d輪廓測量儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個精細(xì)器件的過程用時短，確保了高款率檢測。

中圖儀器SuperViewW系列3D光學(xué)檢測儀器具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。

SuperViewW系列3d輪廓儀白光干涉儀是以白光干涉技術(shù)原理，對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量的儀器，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

SuperViewW1光學(xué)粗糙度輪廓儀一體機(jī)基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

SuperViewW1光學(xué)三維輪廓測量儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。數(shù)秒內(nèi)可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數(shù)。也可以選擇拼接功能軟件升級來組合多個影像以提供大面積測量。

VJ系列3d線激光輪廓測量儀搭配高精度線激光測頭，結(jié)合高精度圖像分析算法，無接觸掃描3D輪廓成像，實(shí)現(xiàn)尺寸的快速精確測量。CNC模式下，只需按下啟動鍵，儀器即可根據(jù)工件的形狀自動定位測量對象、匹配模板、測量評價、報表生成，真正實(shí)現(xiàn)一鍵式快速精準(zhǔn)測量。