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NS200國產(chǎn)臺階形貌儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。

NS200國產(chǎn)臺階膜厚儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。

NS系列臺階輪廓儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度，可以準(zhǔn)確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

NS系列微觀表面臺階顯微檢測儀是利用光學(xué)干涉原理，通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度，500萬像素高分辨率彩色攝像機，即時進行高精度定位測量。可以將探針的形貌圖像傳輸?shù)娇刂齐娔X上，使得測量更加直觀。

NS200臺階厚度測量儀能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度，可以準(zhǔn)確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料，是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀。

針對測量ITO導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用場景，NS系列臺階厚度儀結(jié)合了360°旋轉(zhuǎn)臺的全電動載物臺，能夠快速定位到測量標(biāo)志位；對于批量樣件，提供自定義多區(qū)域測量功能，實現(xiàn)一鍵多點位測量；提供SPC統(tǒng)計分析功能，直觀分析測量數(shù)值變化趨勢。