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sj6000機(jī)床激光干涉測(cè)量校準(zhǔn)系統(tǒng)具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。
0.05ppm機(jī)床激光干涉儀利用激光干涉現(xiàn)象來(lái)實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量,具有高精度、高分辨率、快速測(cè)量等優(yōu)點(diǎn),在機(jī)床加工領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。它集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。
SJ6000機(jī)床激光干涉測(cè)量校準(zhǔn)儀具有高測(cè)量精度和重復(fù)性,可以實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量方式,不會(huì)對(duì)被測(cè)量物體造成損傷。它結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。
SJ6000激光干涉儀測(cè)量雙直線導(dǎo)軌安裝平行度采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。
SJ6000激光干涉位移測(cè)量?jī)x在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
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