在光學精密加工領(lǐng)域,微納結(jié)構(gòu)元件的三維形貌檢測是保障器件性能的重要環(huán)節(jié)。以微透鏡陣列、衍射光學元件為代表的精密光學元件,其特征尺寸已突破亞微米量級,對表面輪廓精度與結(jié)構(gòu)面形誤差的檢測要求達到納米級分辨率。若加工過程中產(chǎn)生的邊緣塌陷、周期畸變...
本文原載于《內(nèi)蒙古教育》,作者:廣東省工商高級技工學校溫劍藝摘要:本文介紹了三軸立式數(shù)控銑床幾何誤差的檢測方法、建模理論、軟件補償技術(shù),利用中圖儀器SJ6000激光干涉儀在不改變機床的硬件的前提下對ZXK-32D三軸立式數(shù)控銑床的幾何誤差進...
激光干涉儀是一種高精度、高測量范圍的測長儀,由于其優(yōu)良的性能,被廣泛地應用于多種場合,特別是對長、大位移的測量。對于長度的測量,一般200米以上的測量都是一般的長度測量,3m以下的長度測量是3m,3~200m的測量稱為大尺寸測量。在一般長度...
機床測頭是一種可安裝在大多數(shù)數(shù)控機床上,并在加工循環(huán)中自動對工件的尺寸及位置進行測量的裝置,使用合適的測量程序,還可以根據(jù)測量結(jié)果實現(xiàn)自動刀路補償,可以保證“第一件和第一百件尺寸一致”,是批量生產(chǎn)中*的重要質(zhì)量控制手段。中圖儀器機床測頭目前...
傳統(tǒng)上,機床回轉(zhuǎn)軸的校準需要將自動精密轉(zhuǎn)臺安裝在其旋轉(zhuǎn)中心,才能執(zhí)行回轉(zhuǎn)軸校準。搖籃式五軸加工中心回轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)中心(C.O.R.)受到限制無聯(lián)結(jié)部位,導致需要更復雜的支架與準直程序才能對軸進行校準,這可能增加該機床校準的難度。中圖儀器解決方案...
1、效率高只需一鍵,數(shù)秒內(nèi)即可完成測量,每次可測512個位置,至多一次可測100個目標產(chǎn)品,同時,閃測儀的自動識別功能,產(chǎn)品無需擺正即可完成測量,因此測量效率*。2、精準度高測量精度可保持在5μm,設(shè)備為全自動測量,故重復測量精度非常高,同...
表面輪廓評定:評定半徑、角度、距離、坐標、圓、圓截面;確定各個點、相交各點、坐標軸、直線、垂直線、圓和圓截面,可對輪廓進行直線度、圓度、輪廓度分析等;同時實現(xiàn)下列功能:(1)建立回歸直線和圓形;(2)建立點、交點、自由點、中心點、高點和低點...
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